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如何實(shí)現(xiàn)光學(xué)平臺(tái)的隔振?

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如何實(shí)現(xiàn)光學(xué)平臺(tái)的隔振?

光學(xué)平臺(tái)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工、無(wú)損檢測(cè)、機(jī)械工業(yè)中的精密測(cè)試儀器及設(shè)備振動(dòng)隔離。它的動(dòng)態(tài)力學(xué)性能直接影響試驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。其微振動(dòng)特性直接影響精密儀器的測(cè)量精度。由于精密隔振要求的提高,光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)隔離技術(shù)需要進(jìn)一步改進(jìn)。

在進(jìn)行隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí),需要考慮的干擾因素比較復(fù)雜,主要有:大型建筑物本身的搖擺、地面或地面的振動(dòng)、電器設(shè)備的振動(dòng)、各種機(jī)械的振動(dòng)、聲音引起的振動(dòng)、外部道路交通的振動(dòng),甚至人類行走引起的振動(dòng)。

分光計(jì)的選擇對(duì)提高實(shí)驗(yàn)精度有重要意義。光平臺(tái)的隔振一般可以通過(guò)三種方式來(lái)實(shí)現(xiàn):

隔振器:一般氣浮式隔振支架的性能一般好于阻尼隔振支架,有些性能優(yōu)良的隔振支架可達(dá)到一到兩個(gè)數(shù)量級(jí)(一般在10~200赫茲)。

臺(tái)式機(jī)質(zhì):要求臺(tái)面有一定剛度,且重量輕(硬重比),使臺(tái)面能有效地減少共振時(shí)的振幅,本文稍后將介紹。

臺(tái)面內(nèi)部結(jié)構(gòu):臺(tái)面內(nèi)部結(jié)構(gòu)不但可減小支架,而且可減少或消除桌面沖擊及相對(duì)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的振動(dòng)。

優(yōu)質(zhì)的光學(xué)平臺(tái)不僅要有高精度的機(jī)械加工,還要有高科技精度的檢測(cè)手段和儀器,高質(zhì)量的光學(xué)平臺(tái)才能保證光學(xué)實(shí)驗(yàn)的高精度和科研的正常進(jìn)行。

STACISIII為柔性主動(dòng)隔振系統(tǒng)。采用先進(jìn)的慣性振動(dòng)傳感器、控制算法和壓電驅(qū)動(dòng)器,通過(guò)連續(xù)測(cè)量地面運(yùn)動(dòng),再濾縮地面運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)消振。本系統(tǒng)包括改進(jìn)版的DC-2020數(shù)字控制器。新一代雙核處理器、以太網(wǎng)和USB串行接口,為用戶提供現(xiàn)代、易用的圖形用戶界面(GUI),是一種全新的控制系統(tǒng)。精微光刻、測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備,是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案,隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠(包括但不限于:半導(dǎo)體工廠、故障分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心)。



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