微納光科(深圳)自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品分類: UVW相位臺
產(chǎn)品名稱: 相位臺:WNUVW01-350CC
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產(chǎn)品特征:
1. 采用了劃時代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺
在底座、工作臺之間裝上組合了滑臺組和特殊交叉滾柱軸承,實(shí)現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。
2. 高剛性、高精度
高品質(zhì)精磨級滾珠絲杠驅(qū)動,小導(dǎo)程,相同細(xì)分可達(dá)到高的分辨率級高的重復(fù)定位精度。
3. 超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu)
中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用
4 .潤滑系統(tǒng)
在各種運(yùn)動軌道加入潤滑系統(tǒng),提高對位平臺使用的壽命及精度。
5. 產(chǎn)品整體機(jī)構(gòu)薄且輕,內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,可實(shí)現(xiàn)同時進(jìn)行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉(zhuǎn)??蓪?shí)現(xiàn)任意位置再運(yùn)動。
6. 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命
產(chǎn)品應(yīng)用:
1. 面板貼膜
2. 3D網(wǎng)版印刷
3.玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備
4. Wafe對位設(shè)備
5.P.C.D曝光設(shè)備
6. 軟體裁切設(shè)備
7. 半導(dǎo)體設(shè)備


型號WNUVW01-350CC
結(jié)構(gòu)描述臺面尺寸(mm)350X350
底板尺寸(mm)450X450
高度(mm)90
行程(mm)±5
角度(θ)±2°
主體材料鋁合金
表面處理陽極氧化發(fā)黑
電機(jī)42步進(jìn)電機(jī)
精度描述螺桿規(guī)格φ8-P1
水平承載(Kg)80
重復(fù)定位精度(μm)±2
平行度(μm)30

WNUVW01-350CC外觀尺寸圖.jpg

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