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產(chǎn)品分類： UVW相位臺
產(chǎn)品名稱： 相位臺：WNUVW00-170LC
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產(chǎn)品特征：

1. 采用了劃時代性模組結構的超薄型平臺
在底座、工作臺之間裝上組合了滑臺組和特殊交叉滾柱軸承，實現(xiàn)了超薄型結構。
2. 高剛性、高精度
高品質精磨級滾珠絲杠驅動，小導程，相同細分可達到高的分辨率級高的重復定位精度。
3. 超薄型、輕量化、中空結構
中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
4 .潤滑系統(tǒng)
在各種運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度。
5. 產(chǎn)品整體機構薄且輕，內(nèi)部結構緊湊，可實現(xiàn)同時進行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉?？蓪崿F(xiàn)任意位置再運動。
6. 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命
產(chǎn)品應用:
1. 面板貼膜
2. 3D網(wǎng)版印刷
3.玻璃側角及磨邊設備
4. Wafe對位設備
5.  P.C.D曝光設備
6. 軟體裁切設備
7. 半導體設備


型號WNUVW170LC
結構描述臺面尺寸（mm）170X170
底板尺寸（mm）180X180
高度（mm）50
行程（mm）±6
角度（θ）±4°
主體材料鋁合金
表面處理陽極氧化發(fā)黑
電機28步進電機
精度描述螺桿規(guī)格φ6-P1
水平承載（Kg）30
重復定位精度（μm）±2
平行度（μm）25

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